微奈米製造技術
Micro-nano fabrication technology
學期
106-2
學分
0
學分
當期課號
A773
永久課號
A8876
開課單位
生醫光電暨奈米科學學士學位學程(與生命科學院合辦)
授課教師
董奕鍾
類別
選修
上課時間表
| 節 | 週二 |
|---|---|
3 10:10–11:00 | 微奈米製造技術 YK602-A1[Y 2 節連堂 |
4 11:10–12:00 |
* 根據陽明交大上課時間表所列
概述
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先修科目
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備註
無備註
教學方式
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評分方式
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課程大綱
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週次計畫
| 週次 | 主題 |
|---|---|
| 第 2 週 | 微奈米製程簡介 – 微奈米製程之過去與未來 2018/02/27 |
| 第 3 週 | 微奈米製造材料介紹與氧化製程 2018/03/06 |
| 第 4 週 | 光學微影技術(一) 2018/03/13 |
| 第 5 週 | 光學微影技術(二) 2018/03/20 |
| 第 6 週 | 沈積技術 – Chemical Vapor Deposition (CVD) 2018/03/27 |
| 第 7 週 | 沈積技術 – 物理方式 2018/04/03 |
| 第 8 週 | 蝕刻技術 2018/04/10 |
| 第 9 週 | 奈米壓印技術及其應用 2018/04/17 |
| 第 10 週 | 期中考 2018/04/24 |
| 第 11 週 | 軟式微影技術及其應用(一) 2018/05/01 |
| 第 12 週 | 軟式微影技術及其應用(二) 2018/05/08 |
| 第 13 週 | 製程檢測技術介紹 2018/05/15 |
| 第 14 週 | 製程整合與元件應用(一) 2018/05/22 |
| 第 15 週 | 製程整合與元件應用(二) 2018/05/29 |
| 第 16 週 | 生醫元件製造與應用(一) 2018/06/05 |
| 第 17 週 | 生醫元件製造與應用(二) 2018/06/12 |
| 第 18 週 | 期末考 2018/06/19 |
教科書
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Office Hours
- 地點
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- 時間
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- 聯絡方式
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