微奈米製造技術
Micro-nano fabrication technology
學期
107-2
學分
0
學分
當期課號
A835
永久課號
A8876
開課單位
生醫光電暨奈米科學學士學位學程(與生命科學院合辦)
授課教師
董奕鍾
校區
陽明
類別
選修
上課時間表
| 節 | 週二 |
|---|---|
3 10:10–11:00 | 微奈米製造技術 YK645（陽明） 2 節連堂 |
4 11:10–12:00 |
* 根據陽明交大上課時間表所列
概述
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先修科目
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備註
無備註
教學方式
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評分方式
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課程大綱
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週次計畫
| 週次 | 主題 |
|---|---|
| 第 1 週 | Now and Then of Micro-Nano Fabrication 2019/02/19 |
| 第 2 週 | Materials and Oxidation Process 2019/02/26 |
| 第 3 週 | Pattern Transfer - Optical Lithography (I) 2019/03/05 |
| 第 4 週 | Pattern Transfer - Optical Lithography (II) 2019/03/12 |
| 第 5 週 | Physical and Chemical Deposition (I) 2019/03/19 |
| 第 6 週 | Physical and Chemical Deposition (II) 2019/03/26 |
| 第 7 週 | Wet and Dry Etching (I) 2019/04/02 |
| 第 8 週 | Wet and Dry Etching (II) 2019/04/09 |
| 第 9 週 | Review of Part I 2019/04/16 |
| 第 10 週 | Midterm Exam 2019/04/23 |
| 第 11 週 | Introduction of Microfluidics (I) 2019/04/30 |
| 第 12 週 | Introduction of Microfluidics (II) 2019/05/07 |
| 第 13 週 | Soft Lithography and Applications 2019/05/14 |
| 第 14 週 | Process Integration 2019/05/21 |
| 第 15 週 | Fabrication of Biomedical Devices and Their Applications (I) 2019/05/28 |
| 第 16 週 | Fabrication of Biomedical Devices and Their Applications (II) 2019/06/04 |
| 第 17 週 | Review of Part II 2019/06/11 |
| 第 18 週 | Final Exam 2019/06/18 |
教科書
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Office Hours
- 地點
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- 時間
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- 聯絡方式
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