先進元件製造技術導論
Introduction to advanced device fabrication technology
| 節 | 週三 |
|---|---|
8 16:30–17:20 | 先進元件製造技術導論 A310（光復） |
* 根據陽明交大上課時間表所列
This course will focus on advanced device fabrication technologies, covering advanced logic technologies (CMOS platform technologies, High mobility channels, GAA nanowires, and nanosheets-based devices), emerging devices (2D material devices, steep-slope devices, and Cryogenic Devices), and memory technologies (conventional memories, emerging memories, and 3D memory technologies)
英語授課
無備註
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期中考35%、作業30%、期末專題報告35%
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| 週次 | 主題 |
|---|---|
| 第 1 週 | Introduction 2023-02-15(三) |
| 第 2 週 | Advanced logic technology: CMOS platform technologies 2023-02-22(三) |
| 第 3 週 | Advanced logic technology: CMOS platform technologies 2023-03-01(三) |
| 第 4 週 | Advanced logic technology: High mobility channels 2023-03-08(三) |
| 第 5 週 | Advanced logic technology: High mobility channels 2023-03-15(三) |
| 第 6 週 | Advanced logic technology: High mobility channels 2023-03-22(三) |
| 第 7 週 | Advanced logic technology: GAA (vertically stacked) nanowires and nanosheets based devices 2023-03-29(三) |
| 第 8 週 | Advanced logic technology: GAA (vertically stacked) nanowires and nanosheets based devices 2023-04-05(三) |
| 第 9 週 | Mid-term exam 2023-04-12(三) |
| 第 10 週 | Emerging device : 2D devices 2023-04-19(三) |
| 第 11 週 | Emerging device : 2D material devices 2023-04-26(三) |
| 第 12 週 | Emerging device : Steep-slope devices 2023-05-03(三) |
| 第 13 週 | Emerging device : Cryogenic Devices 2023-05-10(三) |
| 第 14 週 | Memory technology : Conventional memories 2023-05-17(三) |
| 第 15 週 | Memory technology: Emerging memories & 3D memory technologies 2023-05-24(三) |
| 第 16 週 | Final-term presentation 2023-05-31(三) |
| 第 17 週 | 2023-06-07(三) |
| 第 18 週 | 2023-06-14(三) |
(1) 教師自編講義 (conference proceedings :IEDM/VLSI 2020~2022)
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