半導體製程導論
Introduction to Semiconductor Fabrication
| 節 | 週四 |
|---|---|
2 09:00–09:50 | 半導體製程導論 CM212（歸仁） 3 節連堂 |
3 10:10–11:00 | |
4 11:10–12:00 |
* 根據陽明交大上課時間表所列
This class is an introduction to the technology of semiconductor fabrication, covering the scientific principles that have enabled the development of microelectronics and nanotechnology.
Lectures will be conducted in English, and while students are encouraged to speak English during class, it is not a requirement.
無備註
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Homework: 25% Midterm: 35% Final exam: 40%
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| 週次 | 主題 |
|---|---|
| 第 1 週 | Introduction 2023-02-16(四) |
| 第 2 週 | Semiconductor Substrates 2023-02-23(四) |
| 第 3 週 | Diffusion 2023-03-02(四) |
| 第 4 週 | Oxidation 2023-03-09(四) |
| 第 5 週 | Ion Implantation 2023-03-16(四) |
| 第 6 週 | Thermal Processing 2023-03-23(四) |
| 第 7 週 | Review 2023-03-30(四) |
| 第 8 週 | No class (Spring break) 2023-04-06(四) |
| 第 9 週 | Midterm Exam 2023-04-13(四) |
| 第 10 週 | Lithography 2023-04-20(四) |
| 第 11 週 | Photoresists 2023-04-27(四) |
| 第 12 週 | Etching 2023-05-04(四) |
| 第 13 週 | Physical Deposition 2023-05-11(四) |
| 第 14 週 | Chemical Vapor Deposition 2023-05-18(四) |
| 第 15 週 | Optoelectronic Technologies, Review 2023-05-25(四) |
| 第 16 週 | Final Exam 2023-06-01(四) |
| 第 17 週 | 2023-06-08(四) |
| 第 18 週 | 2023-06-15(四) |
Reference Books: Stephen A Campbell, Fabrication engineering at the micro and nanoscale (Electronic version available from NYCU library) Xiao Hung, Introduction to Semiconductor Manufacturing Technology, Second Edition (Electronic version available from NYCU library) Gary S. May, Simon M. Sze, Fundamentals of Semiconductor Fabrication | Wiley Jim Plummer, Michael D. Deal, and Peter B. Griffin, Silicon VLSI Technology: Fundamentals, Practice and Modeling
- 地點
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- 時間
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- 聯絡方式
- E-mail: yingyuanhuang@nycu.edu.tw