微機電系統技術導論

Introduction to Micro Electro Mechanical Systems

學期

112-1

學分

0 學分

當期課號

535308

永久課號

EECN30077

開課單位

電控工程研究所

授課教師

邱俊誠

校區

光復

類別

選修

上課時間表

節	週三
2 09:00–09:50	微機電系統技術導論 EE209（光復） 3 節連堂
3 10:10–11:00
4 11:10–12:00

* 根據陽明交大上課時間表所列

概述

微機電系統(Micro-Electro- Mechanical-System, MEMS)是一涵蓋了機械、電機、化工、材料、醫學、生物、光電、電子、通訊...等等領域之專業知識,以及建立在微感測器、微致動器、微電子、微工具以及微加工等技術的整合系統。本課程介紹微機電系統發展的理念、半導體/微機電製程及相關應用。

先修科目

一般大學必修工程科目

備註

無備註

教學方式

TA、Youtube...

評分方式

Homework assignments: 30% Mid-term Exam, 25% Final Exam. 35% Presence: 10%

課程大綱

教師未提供此項資料

週次計畫

週次	主題
第 1 週	Introduction and Overview 2023-09-13(三)
第 2 週	Frequently Used MEMS Materials 2023-09-20(三)
第 3 週	Fundamentals of Micro-fabrication (Film Deposition, Lithography and Etching) 2023-09-27(三)
第 4 週	Fundamentals of Micro-fabrication (Film Deposition, Lithography and Etching) 2023-10-04(三)
第 5 週	MEMS micromachining: Surface/Bulk Micro Machining and LIGA 2023-10-11(三)
第 6 週	MEMS micromachining: Surface/Bulk Micro Machining and LIGA 2023-10-18(三)
第 7 週	Mid-term Exam. 2023-10-25(三)
第 8 週	MEMS Software: L-edit (Layout) 2023-11-01(三)
第 9 週	MEMS Software: Coventorware (Analysis) 2023-11-08(三)
第 10 週	MEMS Device Fabrication Processes (MUMPs / CMOS-MEMS) 2023-11-15(三)
第 11 週	MEMS Device Fabrication Processes (MUMPs / CMOS-MEMS) 2023-11-22(三)
第 12 週	MEMS Device Fabrication Processes (MUMPs / CMOS-MEMS) 2023-11-29(三)
第 13 週	Transducers (Actuators, Sensors and Systems) 2023-12-06(三)
第 14 週	Transducers (Actuators, Sensors and Systems) 2023-12-13(三)
第 15 週	Transducers (Actuators, Sensors and Systems) 2023-12-20(三)
第 16 週	Final Exam. 2023-12-27(三)

教科書

Foundations of MEMS, Chang Liu, Pearson Edu. 2007

Office Hours

地點: EE-772
時間: 週三下午1:30~3:30
聯絡方式: 03-573-1881