半導體製程
Semiconductor Processings
學期
112-1
學分
0
學分
當期課號
536313
永久課號
ENMS30007
開課單位
材料科學與工程學系
授課教師
張翼
校區
光復
類別
選修
上課時間表
| 節 | 週二 | 週四 |
|---|---|---|
5 13:20–14:10 | 半導體製程 EF104（光復） 2 節連堂 | |
6 14:20–15:10 | 半導體製程 EF104（光復） |
* 根據陽明交大上課時間表所列
概述
包括半導體製程的演進、材料的特性的講解,以及半導體元件之製程流程及各項製程之解說。
先修科目
無
備註
無備註
教學方式
教師未提供此項資料
評分方式
Final exam (40%), midterm exam (40%), In-class performance & homework (20%)
課程大綱
教師未提供此項資料
週次計畫
| 週次 | 主題 |
|---|---|
| 第 1 週 | A practical guide to semiconductor processing 2023-09-12(二),2023-09-14(四) |
| 第 2 週 | Semiconductor materials and process chemicals 2023-09-19(二),2023-09-21(四) |
| 第 3 週 | Semiconductor properties 2023-09-26(二),2023-09-28(四) |
| 第 4 週 | Crystal growth 2023-10-03(二),2023-10-05(四) |
| 第 5 週 | Overview of wafer fabrication 2023-10-10(二),2023-10-12(四) |
| 第 6 週 | Contamination control 2023-10-17(二),2023-10-19(四) |
| 第 7 週 | Oxidation 2023-10-24(二),2023-10-26(四) |
| 第 8 週 | Midterm 2023-10-31(二),2023-11-02(四) |
| 第 9 週 | Basic patterning process-surface preparation to exposure 2023-11-07(二),2023-11-09(四) |
| 第 10 週 | Basic patterning-developing to final inspection 2023-11-14(二),2023-11-16(四) |
| 第 11 週 | Advanced Photolithography processes 2023-11-21(二),2023-11-23(四) |
| 第 12 週 | Diffusion 2023-11-28(二),2023-11-30(四) |
| 第 13 週 | Ion Implantation 2023-12-05(二),2023-12-07(四) |
| 第 14 週 | CVD 2023-12-12(二),2023-12-14(四) |
| 第 15 週 | Metallization 2023-12-19(二),2023-12-21(四) |
| 第 16 週 | Dry etching 2023-12-26(二),2023-12-28(四) |
教科書
參考書目:Microchip Fabrication, PETER VAN ZANT, McGRAW-HILL INTERNATIONAL EDITION
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