微奈米製造技術
Micro-nano fabrication technology
| 節 | 週二 |
|---|---|
3 10:10–11:00 | 微奈米製造技術 YK533（陽明） 2 節連堂 |
4 11:10–12:00 |
* 根據陽明交大上課時間表所列
Understand the basic knowledge of micro-nano fabrication technology.
N/A
無備註
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Midterm: 50%; Final Exam: 50%
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| 週次 | 主題 |
|---|---|
| 第 1 週 | Week 1: Now and Then of Micro-Nano Fabrication 2024-02-20(二) 時數：[2024-02-20]董奕鍾(2.00) |
| 第 2 週 | Week 2: Materials and Oxidation Process 2024-02-27(二) 時數：[2024-02-27]董奕鍾(2.00) |
| 第 3 週 | Week 3 and 4: Pattern Transfer - Optical Lithography 2024-03-05(二) 時數：[2024-03-05]董奕鍾(2.00) |
| 第 4 週 | Week 3 and 4: Pattern Transfer - Optical Lithography 2024-03-12(二) 時數：[2024-03-12]董奕鍾(2.00) |
| 第 5 週 | Week 5 and 6: Physical and Chemical Deposition 2024-03-19(二) 時數：[2024-03-19]董奕鍾(2.00) |
| 第 6 週 | Week 5 and 6: Physical and Chemical Deposition 2024-03-26(二) 時數：[2024-03-26]董奕鍾(2.00) |
| 第 7 週 | Week 7: Etching 2024-04-02(二) 時數：[2024-04-02]董奕鍾(2.00) |
| 第 8 週 | Week 8: Review of Part I 2024-04-09(二) 時數：[2024-04-09]董奕鍾(2.00) |
| 第 9 週 | Midterm 2024-04-16(二) 時數：[2024-04-16]董奕鍾(2.00) |
| 第 10 週 | Week 10: Introduction of Microfluidics 2024-04-23(二) 時數：[2024-04-23]董奕鍾(2.00) |
| 第 11 週 | Week 11 and 12: Soft Lithography and Applications 2024-04-30(二) 時數：[2024-04-30]董奕鍾(2.00) |
| 第 12 週 | Week 11 and 12: Soft Lithography and Applications 2024-05-07(二) 時數：[2024-05-07]董奕鍾(2.00) |
| 第 13 週 | Week 13: Process Integration 2024-05-14(二) 時數：[2024-05-14]董奕鍾(2.00) |
| 第 14 週 | Week 14: Fabrication of Biomedical Devices and Their Applications 2024-05-21(二) 時數：[2024-05-21]董奕鍾(2.00) |
| 第 15 週 | Week 15: Review of Part II 2024-05-28(二) 時數：[2024-05-28]董奕鍾(2.00) |
| 第 16 週 | Final Exam 2024-06-04(二) 時數：[2024-06-04]董奕鍾(2.00) |
Reference Books: 1. “Fabrication Engineering at the Micro- and Nanoscale,” Stephen A. Campbell, 4th Edition. 2. “Fundamental of Microfabrication,” Marc J. Madou.
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- 聯絡方式
- E-mail: tungy@gate.sinica.edu.tw Tel: (02) 2787-3138