生醫微機電系統工程與實作
BioMEMS Engineering and Experiment
| 節 | 週一 |
|---|---|
5 13:20–14:10 | 生醫微機電系統工程與實作 BI309（博愛） 3 節連堂 |
6 14:20–15:10 | |
7 15:30–16:20 |
* 根據陽明交大上課時間表所列
微機電系統技術是涵蓋微型機械工程技術與微電子技術的整合系統。通過設計與微製造技術,微機電系統能與外界進行能量的轉換,又稱為換能器或傳感器(Transducer)。傳感器的基本元件包含微感測器與微致動器,已運用於許多生物醫學領域中,例如:微型手術輔具、植入式生理監測系統、智慧農業、腦機介面、器官晶片、微型機器人等。此類應用於生物醫學領域微機電技術,即為生醫微機電系統。 本課程旨在介紹生醫微機電系統,包含課堂授課與無塵室實作。 *本課程須進入無塵室進行實驗,地點在博愛校區奈米中心。 *進無塵室之前須自行完成環安課程: 1. 一般安全衛生教育訓練 2. 危害通識教育訓練 課程內容主要包含: 1. 生醫微機電製程技術 2. 生醫微傳感器設計理論與應用 3. 微機電系統製程實作 課程目標: 1. 瞭解微機電系統的基本概念和原理 2. 掌握微機電系統的微製程技術 3. 理解微機電系統的應用範疇 4. 學習開發生醫微機電系統的能力 5. 探索微機電系統在生物醫學領域中的最新研究進展 核心能力訓練 1. 培養創新思考、自我學習與表達能力。 2. 培養良好的產業觀與國際觀。 3. 培養協調跨領域人才與技術整合之能力。
*本課程須進入無塵室進行實驗,地點在博愛校區奈米中心。 *進無塵室之前須自行完成環安課程。
無備註
本課程須進入無塵室進行實驗,地點在博愛校區奈米中心。 學生進入無塵室需配合無塵室與實驗操作規範。 學生進入無塵室之前須完成環安課程。 老師課堂講授與實驗示範,並由學生分組進行實驗操作與實驗結果討論。 無塵室實作之前須完成實驗預報的繳交,實驗完成後隔周繳交實驗結報。
出席20%、期中報告15%、期末報告15%、實驗預報30%、實驗結報20%
教師未提供此項資料
| 週次 | 主題 |
|---|---|
| 第 1 週 | 生醫微機電系統工程與實作課程介紹 2024-02-19(一) |
| 第 2 週 | 微小化工程-微尺度效應 2024-02-26(一) |
| 第 3 週 | 靜電式、電容式微傳感器 2024-03-04(一) |
| 第 4 週 | 壓電式、電熱式微傳感器 2024-03-11(一) |
| 第 5 週 | 微機電製程技術- 無塵室、矽基製程、光學微影技術 2024-03-18(一) |
| 第 6 週 | 微機電製程技術- 面型加工技術 2024-03-25(一) |
| 第 7 週 | 微機電製程技術- 體型加工技術 2024-04-01(一) |
| 第 8 週 | 期中報告 2024-04-08(一) |
| 第 9 週 | 光罩繪圖軟體教學 2024-04-15(一) |
| 第 10 週 | 無塵室實作- 光學微影製程 (1/2) 2024-04-22(一) |
| 第 11 週 | 無塵室實作- 光學微影製程 (2/2) 2024-04-29(一) |
| 第 12 週 | 無塵室實作- 面型加工技術 2024-05-06(一) |
| 第 13 週 | 無塵室實作- 體型加工技術 2024-05-13(一) |
| 第 14 週 | 無塵室實作- 製程量測 2024-05-20(一) |
| 第 15 週 | 無塵室實作- 傳感器元件量測 2024-05-27(一) |
| 第 16 週 | 期末報告 2024-06-03(一) |
以老師課程講義為主。
- 地點
- 博愛校區賢齊館6樓615辦公室
- 時間
- 可隨時寄信與老師安排討論。
- 聯絡方式
- Email: mslee@nycu.edu.tw