微機電技術導論
Introduction of Micro-Electro-Mechanical Technology
| 節 | 週二 |
|---|---|
5 13:20–14:10 | 微機電技術導論 EE206（光復） 3 節連堂 |
6 14:20–15:10 | |
7 15:30–16:20 |
* 根據陽明交大上課時間表所列
讓機械背景學生,熟悉微機電系統基本技術與應用,包含 1) 微機電製程技術;2) 微致動器及微感測器常用的基本原理;3) 微元件製程及結構設計分析,包含製程模擬軟體ACES、 L-Edit及有限元素分析軟體ANSYS。
機械系大三、大四學生(已修或正在修習材力、流力)
無備註
參考書:1. Microsensors: Principles and Applications, Julian W. Gardner, John Wiley & Sons 2. MEMS & MicroSystems Design and Manufacture, T.R. Hsu, McGraw Hill (華通書局代理) 3. CMOS實體設計-使用L-EDIT, Uyemura著, 楊忠煌譯,高立出版社 4. ANSYS 電腦輔助工程分析
作業 40%,期中考兩次共 40%, 期末報告 20%
課程介紹及總論
- 講授：
- 2
半導體及微機電製程技術
- 講授：
- 8
- 示範：
- 0
- 實作：
- 2
期中考
- 講授：
- 1
- 實作：
- 2
微致動器及微感測器原理及設計分析
- 講授：
- 13
- 示範：
- 0
- 實作：
- 2
期末考
- 講授：
- 1
- 實作：
- 2
期末專題
- 講授：
- 3
- 實作：
- 6
| 週次 | 主題 |
|---|---|
| 第 1 週 | 課程介紹, 微機電系統簡介,傳統矽基半導體製程技術, 2025-02-18(二) 時數：[2025-02-18]徐文祥(3.00) |
| 第 2 週 | 沉積、熱製程,擴散,微影,蝕刻,矽晶體結構、 2025-02-25(二) 時數：[2025-02-25]徐文祥(3.00) |
| 第 3 週 | 體型微加工,面型微加工、犧牲層技術,代工製程,立體微接頭製程 2025-03-04(二) 時數：[2025-03-04]徐文祥(3.00) |
| 第 4 週 | ACES蝕刻模擬,光罩設計軟體L-Edit 2025-03-11(二) 時數：[2025-03-11]徐文祥(3.00) |
| 第 5 週 | 非矽微加工技術,晶片接合與微機電封裝技術 2025-03-18(二) 時數：[2025-03-18]徐文祥(3.00) |
| 第 6 週 | 期中考重點複習,微感測與致動器原理簡介,磁場感測與致動,壓電感測與致動 2025-03-25(二) 時數：[2025-03-25]徐文祥(3.00) |
| 第 7 週 | 期中考 2025-04-01(二) 時數：[2025-04-01]徐文祥(1.00) |
| 第 8 週 | 力學基礎原理,壓阻感測,期末專題介紹 2025-04-08(二) 時數：[2025-04-08]徐文祥(3.00) |
| 第 9 週 | 電容式微感測與致動器 2025-04-15(二) 時數：[2025-04-15]徐文祥(3.00) |
| 第 10 週 | 熱型微感測與致動器,記憶合金,微流體致動 2025-04-22(二) 時數：[2025-04-22]徐文祥(3.00) |
| 第 11 週 | 有限元素法原理介紹,微熱致動器模擬(ANSYS) , 2025-04-29(二) 時數：[2025-04-29]徐文祥(3.00) |
| 第 12 週 | 期末報告確認,重點複習 2025-05-06(二) 時數：[2025-05-06]徐文祥(3.00) |
| 第 13 週 | 期末考, 2025-05-13(二) 時數：[2025-05-13]徐文祥(1.00) |
| 第 14 週 | 期末報告 2025-05-20(二) 時數：[2025-05-20]徐文祥(1.00) |
| 第 15 週 | 期末報告 2025-05-27(二) 時數：[2025-05-27]徐文祥(1.00) |
| 第 16 週 | 期末報告 2025-06-03(二) 時數：[2025-06-03]徐文祥(1.00) |
| 第 17 週 | 成績公布 2025-06-10(二) 時數：[2025-06-10]徐文祥(0.00) |
1. VLSI製造技術 莊達人 編著 2. Foundations of MEMS, Chang Liu, Prentice Hall (東華書局 代理02-2331-1578) 3. 相關論文及講義
- 地點
- EE431
- 時間
- 週一GH或By appointment
- 聯絡方式
- 55111 whsu@nycu.edu.tw