半導體實驗
Semiconductor Laboratory
| 節 | 週三 |
|---|---|
6 14:20–15:10 | 半導體實驗 3 節連堂 |
7 15:30–16:20 | |
8 16:30–17:20 | |
A 18:30–19:20 | 半導體實驗 2 節連堂 |
B 19:30–20:20 |
* 根據陽明交大上課時間表所列
課程概述與目標: ※本課程將培育學生具備下述幾項核心能力: 1.1 固態電子或電路系統相關專業知識之能力 1.2 固態電子或電路系統之設計、實驗及分析數據之能力,並具有發掘、分析、獨立解決問題及創新思考的能力 1.3 使用電腦輔助軟體、儀器等工具的能力 ※本課程將培育學生具備下述幾項基本素養: 1 養成學生具備電子工程基礎與專業知識,並配合實作,達到理論與實務相結合之目的。使學生具備推論、分析、創新及整合能力。
有半導體元件物理基礎者為佳
無備註
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考試30% 實作表現25% 期末報告40% 上課參與5%
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| 週次 | 主題 |
|---|---|
| 第 1 週 | History of Nano Facility Center (NFC) and Semiconductor Lab. 2025-02-19(三) |
| 第 2 週 | Clean room environment 2025-02-26(三) |
| 第 3 週 | Safety issues 2025-03-05(三) |
| 第 4 週 | Clean process 2025-03-12(三) |
| 第 5 週 | Oxidation process 2025-03-19(三) |
| 第 6 週 | Lithography process 2025-03-26(三) |
| 第 7 週 | Etch process 2025-04-02(三) |
| 第 8 週 | Deposition process 2025-04-09(三) |
| 第 9 週 | Deposition process 2025-04-16(三) |
| 第 10 週 | 實作 2025-04-23(三) |
| 第 11 週 | 實作 2025-04-30(三) |
| 第 12 週 | 實作 2025-05-07(三) |
| 第 13 週 | 實作 2025-05-14(三) |
| 第 14 週 | 實作 2025-05-21(三) |
| 第 15 週 | 實作 2025-05-28(三) |
| 第 16 週 | 考試 2025-06-04(三) |
Reference Books: 1. Hong Xiao, “Introduction to Semiconductor Manufacturing Technology”, 2000, Prentice Hall. 2. J. D. Plummer, M. D. Deal, and P. B. Griffin, “Silicon VLSI Technology-Fundamentals, Practice and Modeling”, 2000, Prentice Hall. 3. S. M. Sze, “Semiconductor Devices Physics and Technology”, 2nd Ed., 2002, J. Wiley & Sons Inc. 4. Robert F. Pierret, “Semiconductor Device Fundamentals”, 1996, Addison Wesley.
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