微電子技術
Microelectronic Technology
學期
113-2
學分
0
學分
當期課號
910244
永久課號
SESE20026
開課單位
系統工程與科技學士學位學程
授課教師
葉宗翰
類別
選修
上課時間表
| 節 | 週一 |
|---|---|
A 18:30–19:20 | 微電子技術 3 節連堂 |
B 19:30–20:20 | |
C 20:30–21:20 |
* 根據陽明交大上課時間表所列
概述
1.了解半導體製程技術相關基礎知識與工作原理 2.熟悉半導體各段製程方法與整合技術 3.了解半導體元件發展歷史、趨勢與未來動向
先修科目
教師未提供此項資料
備註
無備註
教學方式
教師未提供此項資料
評分方式
1.平時成績(出席率及上課情形):20% 2.期中考:40% 3.期末報告:40%
課程大綱
教師未提供此項資料
週次計畫
| 週次 | 主題 |
|---|---|
| 第 1 週 | Introduction 2025-02-17(一) |
| 第 2 週 | Integrated circuit fabrication and semiconductor basics 2025-02-24(一) |
| 第 3 週 | Wafer manufacturing and epitaxy 2025-03-03(一) |
| 第 4 週 | Thermal processes and oxidation 2025-03-10(一) |
| 第 5 週 | Photolithography (1) 2025-03-17(一) |
| 第 6 週 | Photolithography (2) 2025-03-24(一) |
| 第 7 週 | Plasma basics and etch (1) 2025-03-31(一) |
| 第 8 週 | Plasma basics and etch (2) 2025-04-07(一) |
| 第 9 週 | Midterm Exam 2025-04-14(一) |
| 第 10 週 | Ion implementation 2025-04-21(一) |
| 第 11 週 | CVD and dielectric thin films (1) 2025-04-28(一) |
| 第 12 週 | CVD and dielectric thin films (2) 2025-05-05(一) |
| 第 13 週 | Metallization (1) 2025-05-12(一) |
| 第 14 週 | Metallization (2) 2025-05-19(一) |
| 第 15 週 | Chemical mechanical polishing 2025-05-26(一) |
| 第 16 週 | Semiconductor manufacturing integration 2025-06-02(一) |
| 第 17 週 | Final presentation 2025-06-09(一) |
| 第 18 週 | Final presentation 2025-06-16(一) |
教科書
Introduction to Semiconductor Manufacturing Technology,2012年,Hong Xiao,SPIE,9781510616530
Office Hours
- 地點
- 國防大學理工學院電機系禹261
- 時間
- 星期二1400-1700 星期三0900-1200 星期四1000-1200
- 聯絡方式
- vwnewgolf@gmail.com