微奈米製造技術

Micro-nano fabrication technology

學期

114-2

學分

2 學分

當期課號

132619

永久課號

BEBN20018

開課單位

數位醫療學士學位學程、生醫光電研究所

授課教師

董奕鍾

校區

陽明

類別

選修

上課時間表

節	週一
3 10:10–11:00	微奈米製造技術 YK436（陽明） 2 節連堂
4 11:10–12:00	微奈米製造技術 YK436（陽明） 2 節連堂

* 根據陽明交大上課時間表所列

概述

Understand the basic knowledge of micro-nano fabrication technology.

先修科目

N/A

備註

無備註

教學方式

教師未提供此項資料

評分方式

Midterm: 50%; Final Exam: 50%

課程大綱

教師未提供此項資料

週次計畫

週次	主題
第 1 週	Week 1: Now and Then of Micro-Nano Fabrication 2026-02-23(一) 時數：[2026-02-23]董奕鍾(2.00)
第 2 週	Week 2: Materials and Oxidation Process 2026-03-02(一) 時數：[2026-03-02]董奕鍾(2.00)
第 3 週	Week 3 and 4: Pattern Transfer - Optical Lithography 2026-03-09(一) 時數：[2026-03-09]董奕鍾(2.00)
第 4 週	Week 3 and 4: Pattern Transfer - Optical Lithography 2026-03-16(一) 時數：[2026-03-16]董奕鍾(2.00)
第 5 週	Week 5 and 6: Physical and Chemical Deposition 2026-03-23(一) 時數：[2026-03-23]董奕鍾(2.00)
第 6 週	Week 5 and 6: Physical and Chemical Deposition 2026-03-30(一) 時數：[2026-03-30]董奕鍾(2.00)
第 7 週	Week 7: Etching 2026-04-06(一) 時數：[2026-04-06]董奕鍾(2.00)
第 8 週	Week 8: Review of Part I 2026-04-13(一) 時數：[2026-04-13]董奕鍾(2.00)
第 9 週	Midterm 2026-04-20(一) 時數：[2026-04-20]董奕鍾(2.00)
第 10 週	Week 10: Introduction of Microfluidics 2026-04-27(一) 時數：[2026-04-27]董奕鍾(2.00)
第 11 週	Week 11 and 12: Soft Lithography and Applications 2026-05-04(一) 時數：[2026-05-04]董奕鍾(2.00)
第 12 週	Week 11 and 12: Soft Lithography and Applications 2026-05-11(一) 時數：[2026-05-11]董奕鍾(2.00)
第 13 週	Week 13: Process Integration 2026-05-18(一) 時數：[2026-05-18]董奕鍾(2.00)
第 14 週	Week 14: Fabrication of Biomedical Devices and Their Applications 2026-05-25(一) 時數：[2026-05-25]董奕鍾(2.00)
第 15 週	Week 15: Review of Part II 2026-06-01(一) 時數：[2026-06-01]董奕鍾(2.00)
第 16 週	Final Exam 2026-06-08(一) 時數：[2026-06-08]董奕鍾(2.00)

教科書

Reference Books: 1. “Fabrication Engineering at the Micro- and Nanoscale,” Stephen A. Campbell, 4th Edition. 2. “Fundamental of Microfabrication,” Marc J. Madou.

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地點: 教師未提供此項資料
時間: 教師未提供此項資料
聯絡方式: E-mail: tungy@gate.sinica.edu.tw Tel: (02) 2787-3138