微機電技術導論
Introduction of Micro-Electro-Mechanical Technology
| 節 | 週五 |
|---|---|
5 13:20–14:10 | 微機電技術導論 EE206（光復） 3 節連堂 |
6 14:20–15:10 | |
7 15:30–16:20 |
* 根據陽明交大上課時間表所列
讓機械背景學生，熟悉微機電系統基本技術與應用，包含 1) 微機電製程技術；2) 微致動器及微感測器常用的基本原理；3) 微元件製程及結構設計分析，包含製程模擬軟體ACES、 L-Edit及有限元素分析軟體ANSYS。
機械系大三、大四學生(已修或正在修習材力、流力)
無備註
參考書：1. Microsensors: Principles and Applications, Julian W. Gardner, John Wiley & Sons 2. MEMS & MicroSystems Design and Manufacture, T.R. Hsu, McGraw Hill (華通書局代理) 3. CMOS實體設計-使用L-EDIT, Uyemura著， 楊忠煌譯，高立出版社 4. ANSYS 電腦輔助工程分析
作業 40%，期中考兩次共 40%， 期末報告 20%
課程介紹及總論
- 講授：
- 3
半導體及微機電製程技術
- 講授：
- 14
- 示範：
- 1
- 實作：
- 3
期中考一
- 實作：
- 2
微致動器及微感測器原理及設計分析
- 講授：
- 14
- 示範：
- 1
- 實作：
- 3
期中考二
- 實作：
- 2
期末專題
- 講授：
- 1
- 實作：
- 8
| 週次 | 主題 |
|---|---|
| 第 1 週 | 課程介紹， 微機電系統簡介，傳統矽基半導體製程技術， 2026-02-27(五) |
| 第 2 週 | 沉積、熱製程，擴散，微影，蝕刻，矽晶體結構、 2026-03-06(五) |
| 第 3 週 | 體型微加工，面型微加工、犧牲層技術，代工製程，立體微接頭製程 2026-03-13(五) |
| 第 4 週 | ACES蝕刻模擬，光罩設計軟體L-Edit 2026-03-20(五) |
| 第 5 週 | 非矽微加工技術，晶片接合與微機電封裝技術 2026-03-27(五) |
| 第 6 週 | 期中考一 2026-04-03(五) |
| 第 7 週 | 微感測與致動器原理簡介，力學基礎原理，期末專題介紹 2026-04-10(五) |
| 第 8 週 | 壓電感測與致動，壓阻感測，磁場感測與致動 2026-04-17(五) |
| 第 9 週 | 電容式微感測與致動器 2026-04-24(五) |
| 第 10 週 | 熱型微感測與致動器，記憶合金， 2026-05-01(五) |
| 第 11 週 | 微流體致動 2026-05-08(五) |
| 第 12 週 | 有限元素法原理介紹，微熱致動器模擬(ANSYS) ， 2026-05-15(五) |
| 第 13 週 | 期末報告確認，重點複習 2026-05-22(五) |
| 第 14 週 | 期中考二， 2026-05-29(五) |
| 第 15 週 | 期末報告 2026-06-05(五) |
| 第 16 週 | 期末報告 2026-06-12(五) |
| 第 17 週 | 期末報告 2026-06-19(五) |
| 第 18 週 | 成績公布 2026-06-26(五) |
1. VLSI製造技術 莊達人 編著 2. Foundations of MEMS, Chang Liu, Prentice Hall (東華書局 代理02-2331-1578) 3. 相關論文及講義
- 地點
- EE431
- 時間
- 週一GH或By appointment
- 聯絡方式
- 55111 whsu@nycu.edu.tw