半導體製程
Semiconductor Processing
學期
114-2
學分
3
學分
當期課號
520015
永久課號
XDEP20006
開課單位
學士後電子與光子學士學位學程
授課教師
杜岳錡、謝承利
校區
光復
類別
必修
上課時間表
| 節 | 週一 |
|---|---|
1 08:00–08:50 | 半導體製程 SC109（光復） 3 節連堂 |
2 09:00–09:50 | |
3 10:10–11:00 |
* 根據陽明交大上課時間表所列
概述
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先修科目
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備註
無備註
教學方式
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評分方式
期中考 40% 期末考 60%
課程大綱
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週次計畫
| 週次 | 主題 |
|---|---|
| 第 1 週 | Introduction & Semiconductor Materials 2026-02-23(一) |
| 第 2 週 | Device Technology 2026-03-02(一) |
| 第 3 週 | Wafer preparation 2026-03-09(一) |
| 第 4 週 | Chemicals & Contamination 2026-03-16(一) |
| 第 5 週 | Gas controls 2026-03-23(一) |
| 第 6 週 | Planar FET Process flow 2026-03-30(一) |
| 第 7 週 | Oxidation (Thermal Process) 2026-04-06(一) |
| 第 8 週 | 期中考 2026-04-13(一) |
| 第 9 週 | Dielectric Deposition 2026-04-20(一) |
| 第 10 週 | Metallization 2026-04-27(一) |
| 第 11 週 | Photolithography 2026-05-04(一) |
| 第 12 週 | Photolithography 2026-05-11(一) |
| 第 13 週 | Etch 2026-05-18(一) |
| 第 14 週 | Ion Implantation 2026-05-25(一) |
| 第 15 週 | CMP 2026-06-01(一) |
| 第 16 週 | 期末考 2026-06-08(一) |
教科書
Semiconductor Manufacturing Technology, by M. Quirk and J. Serda, Prentice Hall Introduction to Semiconductor Manufacturing Technology, by H. X
Office Hours
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