半導體製程
Semiconductor Processing
學期
114-2
學分
3
學分
當期課號
520024
永久課號
XDEP20006
開課單位
學士後電子與光子學士學位學程
授課教師
杜岳錡
校區
KS
類別
必修
上課時間表
| 節 | 週二 |
|---|---|
5 13:20–14:10 | 半導體製程 KB302（KS） 3 節連堂 |
6 14:20–15:10 | |
7 15:30–16:20 |
* 根據陽明交大上課時間表所列
概述
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先修科目
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備註
無備註
教學方式
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評分方式
期中考 40% 期末考 60%
課程大綱
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週次計畫
| 週次 | 主題 |
|---|---|
| 第 1 週 | Introduction & Semiconductor Materials 2026-02-24(二) |
| 第 2 週 | Device Technology 2026-03-03(二) |
| 第 3 週 | Wafer preparation 2026-03-10(二) |
| 第 4 週 | Chemicals & Contamination 2026-03-17(二) |
| 第 5 週 | Gas controls 2026-03-24(二) |
| 第 6 週 | Planar FET Process flow 2026-03-31(二) |
| 第 7 週 | Oxidation (Thermal Process) 2026-04-07(二) |
| 第 8 週 | 期中考 2026-04-14(二) |
| 第 9 週 | Dielectric Deposition 2026-04-21(二) |
| 第 10 週 | Metallization 2026-04-28(二) |
| 第 11 週 | Photolithography 2026-05-05(二) |
| 第 12 週 | Photolithography 2026-05-12(二) |
| 第 13 週 | Etch 2026-05-19(二) |
| 第 14 週 | Ion Implantation 2026-05-26(二) |
| 第 15 週 | CMP 2026-06-02(二) |
| 第 16 週 | 期末考 2026-06-09(二) |
教科書
Semiconductor Manufacturing Technology, by M. Quirk and J. Serda, Prentice Hall Introduction to Semiconductor Manufacturing Technology, by H. X
Office Hours
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