半導體製程
Semiconductor Processing
| 節 | 週一 |
|---|---|
2 09:00–09:50 | 半導體製程 SC110（光復） 3 節連堂 |
3 10:10–11:00 | |
4 11:10–12:00 |
* 根據陽明交大上課時間表所列
1. This course explores core semiconductor manufacturing processes, including lithography, etching, thin-film deposition, and doping. 2. To understand the full workflow from silicon wafers to ICs, and build capabilities in analyzing process principles, tuning key parameters.
基礎物理 基礎化學
無備註
教師未提供此項資料
Midterm Exam - 40% Final Exam - 50% Attendance - 10%
教師未提供此項資料
| 週次 | 主題 |
|---|---|
| 第 1 週 | Introduction to the Semiconductor Industry 2026-09-07(一) |
| 第 2 週 | Semiconductor Materials & Device Technology 2026-09-14(一) |
| 第 3 週 | Wafer preparation 2026-09-21(一) |
| 第 4 週 | Contamination Control 2026-09-28(一) |
| 第 5 週 | Plasma & Gas Control 2026-10-05(一) |
| 第 6 週 | Planar FET Process flow 2026-10-12(一) |
| 第 7 週 | Oxidation (Thermal Process) 2026-10-19(一) |
| 第 8 週 | Midterm Exam 2026-10-26(一) |
| 第 9 週 | Dielectric Deposition 2026-11-02(一) |
| 第 10 週 | Metallization 2026-11-09(一) |
| 第 11 週 | Photolithography 2026-11-16(一) |
| 第 12 週 | Photolithography 2026-11-23(一) |
| 第 13 週 | Etching 2026-11-30(一) |
| 第 14 週 | Ion Implantation 2026-12-07(一) |
| 第 15 週 | CMP 2026-12-14(一) |
| 第 16 週 | Final Exam 2026-12-21(一) |
Semiconductor Manufacturing Technology, by M. Quirk and J. Serda, Prentice Hall Introduction to Semiconductor Manufacturing Technology, by H. X
- 地點
- 教師未提供此項資料
- 時間
- 教師未提供此項資料
- 聯絡方式
- 教師未提供此項資料