半導體製程
Semiconductor Processing
學期
115-1
學分
3
學分
當期課號
520029
永久課號
XDEP20006
開課單位
學士後電子與光子學士學位學程
授課教師
謝承利
校區
KS
類別
必修
上課時間表
| 節 | 週四 |
|---|---|
8 16:30–17:20 | 半導體製程 KB302（KS） 3 節連堂 |
9 17:30–18:20 | |
A 18:30–19:20 |
* 根據陽明交大上課時間表所列
概述
1. 本課程旨在介紹半導體積體電路（IC）製造的完整流程與核心技術。 2. 課程內容將從半導體產業概況與無塵室環境出發，循序漸進涵蓋從矽晶圓製備到最終封裝測試的各個關鍵站點。 3. 核心探討的製程模組包含：微影（Photolithography）、蝕刻（Etching）、熱氧化（Thermal Oxidation）、摻雜（擴散與離子植入）、薄膜沉積（CVD/PVD）以及化學機械平坦化（CMP）等。
先修科目
無硬性先修科目擋修，但建議具備高中/大一程度之基礎物理與化學知識。若曾修習「材料科學」或「電子學」將有助於更快速掌握課程內容。
備註
無備註
教學方式
教師未提供此項資料
評分方式
期中考 40% 期末考 60%
課程大綱
教師未提供此項資料
週次計畫
| 週次 | 主題 |
|---|---|
| 第 1 週 | Introduction |
| 第 2 週 | |
| 第 3 週 | |
| 第 4 週 | |
| 第 5 週 | |
| 第 6 週 | |
| 第 7 週 | |
| 第 8 週 | |
| 第 9 週 | |
| 第 10 週 | |
| 第 11 週 | |
| 第 12 週 | |
| 第 13 週 | |
| 第 14 週 | |
| 第 15 週 | |
| 第 16 週 |
教科書
Semiconductor Manufacturing Technology, by M. Quirk and J. Serda, Prentice Hall Introduction to Semiconductor Manufacturing Technology, by H. X
Office Hours
- 地點
- XDEP20006 R89a-KB302
- 時間
- 教師未提供此項資料
- 聯絡方式
- clhsieh.sc10@nycu.edu.tw